低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率最大,、極限壓力最低的清潔真空,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備,、真空表面分析儀器,、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

低溫泵的特點(diǎn)

1）在結(jié)構(gòu)上對(duì)稱布置,，使泵在低溫下均勻收縮,。為了保持低溫和防止介質(zhì)泄漏，采用雙殼體的結(jié)構(gòu),。 

2）為了防止摩擦發(fā)熱而導(dǎo)致液化氣汽化而燒壞摩擦面,，多采用平衡孔、對(duì)稱布置和止推軸承,，很少采用平衡盤(pán)來(lái)平衡軸向力（必要時(shí)采用平衡鼓）,。

3）為了改善吸入條件、氣體分離,、不受氣溫的影響和軸向伸縮,，采用立式簡(jiǎn)袋泵結(jié)構(gòu)較為有利。

4）在結(jié)構(gòu)上還應(yīng)避免低溫脆性的影響,。

5）軸承應(yīng)注意低溫的影響,，如同間隙大小并適當(dāng)選取摩擦性能好的材料（如四氟乙烯、石墨等）,。

6）軸承應(yīng)考慮干摩擦的可能并采取防止凍結(jié)的措施和啟動(dòng)的預(yù)冷的措施,。

7）選用材料時(shí)應(yīng)注意材料的低溫脆性。

8）在使用時(shí)應(yīng)采取保冷,、除濕,、預(yù)冷、防凍等措施